Човни для випаровування нітриду бору проти. Вольфрамові човни

Nov 20, 2023

Човни для випаровування нітриду бору проти вольфрамових човнів: відмінності та переваги

Випарні човни широко використовуються для виробництва тонких плівок і покриттів у багатьох галузях промисловості, таких як електроніка, оптика та автомобілебудування. Серед різних матеріалів, які використовуються для випарних човнів, нітрид бору (BN) і вольфрам (W) є двома популярними варіантами. Ось відмінності та переваги випарних човнів BN порівняно з традиційними човнами W.

Перш за все, BN має набагато вищу теплопровідність, ніж W. Це означає, що випарні човни BN можуть передавати більше тепла підкладці під час процесу осадження, що призводить до швидшої та більш рівномірної швидкості осадження. Крім того, BN є хімічно інертним матеріалом, що означає, що він не реагує з матеріалами, що випаровуються, або газами, які використовуються у вакуумній камері. Це зменшує ймовірність забруднення та покращує стабільність і консистенцію тонких плівок.

Крім того, човни для випаровування BN мають вищу температуру плавлення, ніж W. BN може витримувати температури до 2800 градусів, тоді як W плавиться приблизно при 3422 градусах. Це означає, що човни BN можна використовувати для процесів високотемпературного осадження, таких як реактивне розпилення та плазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD), без ризику поломки чи деформації човна.

Ще однією перевагою випарних човнів BN є їх низький тиск пари. Це означає, що BN не випаровується під час процесу осадження, зменшуючи ймовірність утворення зародків і покращуючи якість і чистоту тонких плівок. Крім того, BN є нетоксичним матеріалом, що робить його безпечнішим вибором для використання у вакуумній камері.

Таким чином, випарні човни BN мають ряд переваг перед човнами W, включаючи вищу теплопровідність, хімічну інертність, вищу температуру плавлення, низький тиск пари та нетоксичність. Ці властивості роблять човни BN чудовим вибором для високоефективного нанесення тонких плівок у різноманітних промислових застосуваннях.

 

Компанія Shengyang New Material Co., Ltd. займається виробництвом нітриду бору та продуктів переробки з нітриду бору та може налаштувати різні ізоляційні керамічні деталі з нітриду бору відповідно до потреб клієнтів. Зв'яжіться з нами, якщо необхідно.
Тел.:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp:+8613964302243

Вам також може сподобатися