Технологія розпилення іонного пучка нітридом бору

May 08, 2021

За допомогою технології осадження пучком частинок отримують змішаний продукт кубічного нітриду бору та гексагонального нітриду бору. Хоча цей метод має менше домішок, важко контролювати умови реакції, тому морфологію продукту важко контролювати, і дослідження цього методу мають великий потенціал для розвитку.