Хімічний парофазний синтез нітриду бору

У 1979 р. Соколовський успішно застосував технологію імпульсної плазми для приготування кубічних нітрид бору (CBN) плівок при низькій температурі та низькому тиску. Обладнання, яке використовується, просте, процес легко реалізувати, тому воно швидко розвивалося. Виникли різноманітні методи осадження парів. Традиційно кажучи, це в основному стосується термічного хімічного осадження парів. Експериментальний пристрій, як правило, складається з термостійкої кварцової трубки та нагрівального пристрою. Підкладку можна нагрівати за допомогою нагрівальної печі (гаряча стінка CVD) або високочастотного індукційного нагрівання (CVD холодної стінки). Реакційний газ розкладається на поверхні високотемпературної підкладки, і в той же час відбувається хімічна реакція на осадження плівки. Реакційний газ - це змішаний газ BCl₃ або Б₂H₄і NH₃.