Течія човна випаровування, як контролювати
Aug 07, 2023
Нітрид борид (BN) є матеріалом з чудовими механічними, термічними та електричними властивостями. Він має високу температуру плавлення, відмінну хімічну стабільність і хороші електроізоляційні властивості. В електроніці та оптоелектроніці BN часто використовується як матеріал для управління температурою, а також як шар діелектрика та шар пасивації в мікроелектронних пристроях. Випаровування BN – це процес, який дозволяє осаджувати плівки BN з точним контролем товщини та однорідності, і він широко використовується у виготовленні пристроїв на основі BN.
Одним із ключових параметрів у процесі випаровування BN є струм, який протікає через човен, що містить матеріал BN. Човен зазвичай виготовляється з тугоплавкого металу, наприклад вольфраму або молібдену, і нагрівається потужним електронним променем. Коли човен нагрівається, матеріал BN сублімується та утворює пару, яка осідає на підкладці.
Струм, що протікає через човен, є критичним для контролю швидкості випаровування BN і якості нанесеної плівки. Вищий струм збільшить швидкість випаровування, але також збільшить температуру човна, що призведе до деградації матеріалу BN. Навпаки, нижчий струм сповільнить процес випаровування, що призведе до тоншої плівки, але також знизить температуру човна та підвищить якість нанесеної плівки.
Щоб контролювати струм, що протікає через човен, часто використовується джерело живлення. Джерело живлення може регулювати напругу та струм, що подаються до електронної гармати, яка, у свою чергу, контролює потужність нагріву човна. Регулюючи джерело живлення, оператор може контролювати струм, що протікає через човен, і, отже, швидкість випаровування матеріалу BN.
Таким чином, струм, що протікає через човен для випаровування BN, є критичним параметром для контролю швидкості випаровування та якості нанесеної плівки. За допомогою джерела живлення струм можна точно контролювати, а процес випаровування можна оптимізувати для досягнення бажаних властивостей плівки. За допомогою цього процесу ми можемо створювати передові електронні пристрої з більшою ефективністю, ніж будь-коли раніше.






