Як працюють випарні човни

Випарні човни - це керамічні компоненти, які діють як ємності для металу (чистого алюмінію), що підлягає випаровуванню. Вони функціонують як електричні нагрівачі опору, випарний човен і алюмінієвий дріт, що безперервно подається, нагріваються під високим вакуумом потоком струму, так що дріт спочатку плавиться, а потім випаровується. Завдяки особливій структурі та текстурі поверхні утворюється ванна розплаву та оптимально розподіляється по човну, забезпечуючи тим самим однорідну хмару пари. Потім пари металу осідають на підкладку, розташовану над хмарою пари.

Матеріали для випарних човнів

Існують різні вимоги, яким повинні відповідати випарні човни. Щоб принцип опору нагрівання працював, вони повинні бути електропровідними; в той же час їм потрібен достатньо високий ступінь електричного опору, щоб нагріти їх взагалі було можливим. Крім того, вони повинні бути стійкими до високих температур і інертними до розплавленого металу. Для поєднання цих властивостей змішану кераміку виготовляють з двох-трьох компонентів.

Two-component evaporation boats contain titanium diboride and BORON NITRIDE. Due to its bonding structure, titanium diboride offers excellent resistance to high temperatures and remains inert even to non-ferrous metal melts. It also improves the wettability of the evaporation boat through liquid aluminum and ensures a melting bath with an extensive surface. For example, when used for aluminum vapor deposition, it's completely wetted by liquid aluminum. In addition, titanium diboride is a very good electrical conductor. Boron nitride is added as a non-conductive material to set the electrical resistance of the evaporation boat.

Three-component mixed ceramics also include aluminum nitride. This material has very good thermal conductivity which makes it particularly suitable for large evaporation boats to ensure they heat up quickly and uniformly. Compared to two-component evaporation boats, the three-component versions have a shorter lifespan, with lower evaporation rates and less corrosion resistance. At the same time, the wettability of the evaporator is significantly improved and there's greater homogeneity of the vapor-deposited layers. Three-component evaporators are therefore primarily used in the manufacture of capacitors, since this requires a particularly high level of homogeneity in the coatings.