Човни випаровування Excel у вакуумних печах
Apr 08, 2025
Човен випаровування - це вакуумна піч для досягнення основних компонентів покриття з випаровування матеріалу, її функція полягає у перевезенні випаровування матеріалів і змусити його випаровувати нагріванням, осадженим у вакуумному середовищі для формування тонкої плівки. Наступне з сцени програми, властивостей матеріалів, технічних моментів та галузевих додатків та інших аспектів детального аналізу човна випаровування у вакуумних пічах:
Основна сцена додатків
1. (Sio₂, sinₓ), використовується у виробництві мікросхем, дощок, пристрої MEMS. Оптичні плівки: плівки для підвищення пропускання (MGF₂), світловідбиваючі плівки (AG, AL), фільтрувальні плівки (багатошарові діелектричні плівки), що використовуються в оптичних лінзах, камерах мобільних телефонів, дисплеї. Функціональні покриття: стійкі до зносу покриття (олово, CRN), теплоізоляційні плівки (металеві сплави), стійкі до корозії плівки (PTFE), що використовуються в автомобільному склі, ріжучих інструментах, аерокосмічних компонентах.
2. Очищення матеріалу та модифікація розділення матеріалів з високою чистотою: використання різних речовин з різним тиском пари через нагрівання човна випаровування для досягнення очищення рідкісних елементів землі (наприклад, ND, DY), дорогоцінних металів (Au, Pt). Поверхнева допінгова обробка: випаровування допантів (таких як B, N) на поверхні напівпровідникових вафель або акумуляторних електродів для поліпшення електричних або оптичних властивостей матеріалів.
По -друге, технічні точки та вимоги до проектування
1. Контроль температури та рівномірність випаровування човна шляхом нагрівання опору або нагрівання електронного променя, необхідно встановити температуру відповідно до тиску пари матеріалу (наприклад, температура випаровування Al близько 1200 градусів, Au близько 1400 градусів).
Дизайн кузова човна (наприклад, глибина канавки, кут нахилу), щоб забезпечити нагрівання випаровування матеріалу рівномірно, щоб уникнути локального перегріву, спричиненого бризок або фіксації домішок.
2. Вакуумне вакуумне вакуумне середовище (зазвичай 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) може зменшити температуру кипіння матеріалу, покращити швидкість випаровування, уникаючи окислення. Матеріали для випаровування човнів повинні бути стабільними при високому вакуумі, наприклад, графітовим човном потрібно уникати окислення високої температури (потрібно заповнити інертним газом, таким як AR).
3. Хімічна сумісність, щоб уникнути випаровування матеріалів та реакції човна: наприклад, випаровування Zn, S-містять S матеріалів, не повинно використовувати молібденний човен (легко утворювати низьку точку плавлення MOS ₂ призводить до корозії); Випарювання нітриду віддає перевагу нітриду -човену бору, щоб запобігти металевому корпусу човна та реакції N елемента для отримання домішок.
. Типові галузеві програми
1. Виробництво напівпровідників та мікроелектронних мікросхем: випаровування AL, Cu Prectude інтегрованих електродів ланцюга, використовуючи молібденний човен або вольфрамовий човен; Осадження ізоляційного шару Sio₂ може бути необов’язковим графітовим човном або нітридом -човеном бору (щоб уникнути забруднення металу). Потужні пристрої: використання бору нітриду човна випаровування GAN, ALN, підготовка епітаксіального шару високої мобільності (HEMT), щоб уникнути введення домішок у корпус металевого човна.
2. Оптичні технології та точні оптичні компоненти: Похоплювальне випаровування на човні AG, AL Підготовка дзеркал, випаровування графітового човна MGF₂, SIO₂ Підготовка плівки для підвищення пропускання, для забезпечення рівномірності плівки та низької швидкості дефектів.
OLED та міні-під керівництвом: випаровування човна нітриду бору органічних світлодіодних матеріалів (таких як ІЧ-комплекс) або квантові крапки, щоб уникнути матеріалів кузова човна та реактивних органічних молекул для посилення терміну експлуатації пристроїв.
3. Нові енергетичні поле сонячні клітини: молібденний човен випаровування Ag Електродна суспензія, відкладення графітового човна SINₓ Редукційна плівка; У акумуляторі халькогеніду випаровування бору на човні бору формамідин-провідний йод (Fapbi₃), щоб запобігти забрудненню водяною парою та домішками.
4. Літій-іонні батареї: Танталум на човні випаровування Li Metal Prectuary з твердотільними електродами акумуляторів, використання його літієвої корозійної стійкості; випаровування елементів B, N, легованих модифікованим анодом на основі кремнію, для підвищення продуктивності циклу.
5. Висококласний обладнання та аерокосмічне покриття інструментів: ТІКТОРНИЙ ПАРАТТЯ ТІ, КР-підготовка олова, CRN жорстке покриття, поліпшення стійкості до носіння інструментів; Бор -нітрид -човен випаровування алмазного попередника, підготовка плівки DLC, що використовується в авіаційних підшипниках.
Лікування високотемпературних сплавів: випаровування AL, Y та інших елементів човном молібдену у вакуумній печі для утворення антиоксидантних покриттів (таких як покриття глинозему) для лопатей аеромолотів.
Shengyang New Material Co., Ltd. зобов’язаний виробляти продукцію, оброблену нітридом бору та бору, і може налаштувати різні частини кераміки нітриду бору згідно з потребами клієнта. Зверніться до нас, якщо це необхідно.
Тел: +8618560961205
Електронна пошта: sales@zbsyxc.com
